微区分析
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台阶仪
联系人：刘园园
联系邮箱：liuyy@fudan.edu.cn
放置地点：江湾校区先进材料楼229室
基础信息
设备型号：Alphastep D-300
设备厂家：科磊（KLA）
主要规格及技术指标：垂直分辨率：0.38 ?，最大垂直测量范围：1000 μm，最小正压力：0.5 mg，最大采样点数：4×105。
主要功能及特色：二维台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力测量。大小量程双探测器设计，在大量程（1 mm）时不丢失仪器的最高分辨率0.38 ?和最高精度5 ?。
复旦大学材料科学系
