微区分析
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激光共聚焦显微镜
联系人：刘园园
联系邮箱：liuyy@fudan.edu.cn
放置地点：江湾校区先进材料楼236C室
基础信息
设备型号：LSM 900
设备厂家：蔡司（Zeiss）
主要规格及技术指标：120 nm横向分辨率，10 nm Z轴最小步进精度，任意角度（360°）旋转扫描。物镜放大倍率：5、10、20、50、100×。
主要功能及特色：表面三维形貌获取、三维荧光成像、透明膜的厚度测量、金相分析。非接触式测量，无需特殊制样。提供高反差、高分辨锐利图像，专业且强大的数据处理。
复旦大学材料科学系
